Profielfilters verdelen een profiel in delen met lange en met korte golven.
Een profiel-S-filter verwijdert delen met korte golven, een profiel-L-filter verwijdert delen met lange golven.
Nesting-index Nic (voorheen cut-off λc) definieert de overgang van ruwheid naar golving.
Middellijn ontstaat bij een fasegecorrigeerd filter, waarbij voor elke positie van het profiel een gewogen gemiddelde waarde wordt bepaald.
Gewichtsfunctie geeft voor elk profielpositie aan met welke beoordelingsfactor de aangrenzende profielpunten worden opgenomen in de bepaling van de gemiddelde waarde (klokkromme van Gauss).
R-profiel (ruwheidsprofiel) is de afwijking van het primaire profiel van de middellijn van het profiel-S-filter. Bij de weergave van het ruwheidsprofiel is de middellijn de nullijn.
